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현미경이 얼마인지 측정하는 도구

협상 가능업데이트01/18
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개요

올림푸스 광학 측정 현미경 STM7 측정 현미경 시리즈는 역대 올림푸스의 기술을 채용하고 1세기 이상 현미경 개발과 50여 년간 측정 현미경 개발 경험을 참고해 품질이 신뢰할 만하다.

제품 정보

올림푸스 광학 측정 현미경소개

신뢰할 수 있는 STM7 측정 현미경 -

한 세기에 걸친 올림푸스 기술을 바탕으로

STM7 측정 현미경 시리즈는 역대 올림푸스의 기술을 적용했으며 1세기 이상 현미경 개발과 50여 년간 측정 현미경 개발 경험을 참고해 품질이 신뢰할 만하다.

• 광학 기술은 극미세 시료에 대한 사실적인 이미지를 구현합니다.

• 선진적인 측량 기술로 견본에 대한 정확한 측량을 실현한다.

• 자동 초점 맞추기 및 초점 맞추기 탐색 시스템으로 측정이 더욱 간단하고 정확해집니다.

• 포괄적인 추적 시스템은 신뢰할 수 있고 신뢰할 수 있는 측정을 제공합니다.

그래서 여러 해 동안,올림푸스 광학 측정 현미경줄곧 사용자들의 사랑을 많이 받았다.

STM7은광학 현미경 및 고급 측정 기능을 통합하여 정확한 측정

다년간의 현미경 개발 경험이 우수한 관찰 성능을 이루었다

올림푸스 측정 현미경 STM7시리즈는 현재 광학 현미경에 사용되는 UIS2 무한 원격 보정 광학 시스템을 사용합니다.따라서 관찰된 이미지는 높은 해상도와 높은 명암비를 가지고 있으며, 미세한 세부 사항에 대한 높은 정밀도 측정을 보장하기 위해 사진 차이도 * 제거됩니다.


명장 이미지 암장 이미지


미분 간섭 이미지 편광 이미지

화강암을 정교하게 조각하여 세밀하게 다듬어 만든 적재대 받침대는 측량의 신뢰성을 증강시켰다

STM7 시리즈는 측정 정밀도를 더욱 보장하기 위해 화강암 받침대를 갖춘 높은 내구성과 진동 방지 안경틀을 채택했다.화강암의 높은 안정성 때문에 측정이 마이크로미터 수준에 도달할 수 있으며, 동시에 오차를 크게 줄일 수 있도록 보장한다.

STM7-LF FEM 분석

고도를 측정하는 데 앞장서 단순하고 조작하기 쉬운 고정밀도를 계속 제공합니다.3축 측정

현대 제조 기술이 날로 소형화되고 정밀화됨에 따라 고정밀 측정도 날로 중요해지고 있다. XY축 평면의 측정뿐만 아니라 Z축 방향의 고정밀 측정도 필수적이다.올림푸스가 개발에 성공했습니다.측정 현미경능동 반사, 공초점 방법을 채택한 자동 초점 시스템을 사용하는 회사는 날로 늘어나는 이런 수요에 호응했다.


액티브 반사, 총 초점 자동 초점 시스템 광로

엄격한 추적 가능 시스템으로 신뢰할 수 있는 품질 보장

올림푸스는 엄격한 추적 시스템을 통해 현미경의 정확도를 측정합니다.또한 시스템을 설치할 때 올림푸스는 추적 가능한 교정 서비스를 제공했다.

현미경 추적 시스템 측정

STM7은의 진용

각 모델에는 0.1μm 판독을 위한 3축 측정 시스템이 장착되어 있습니다.

수동 Z축 초점 조절 모델

STM7-SF는

50mm×50mm의 적재대 또는 100mm×100mm의 적재대를 갖추다

STM7-MF는

200mm × 200mm의 적재대를 갖추다

STM7-LF는

300mm × 300mm의 적재대를 갖추다

전기 Z축 초점 조절 모델

STM7-SFA는

50mm×50mm의 적재대 또는 100mm×100mm의 적재대를 갖추다

STM7-MFA는

200mm × 200mm의 적재대를 갖추다

STM7-LFA는

300mm × 300mm의 적재대를 갖추다

STM7은사용 편의성을 고려한 설계

당신의 견본 사이즈에 적합한 적재대를 제공합니다

자주 묻는 질문

·짧은 측정 여정은 비교적 큰 샘플의 측정 수요를 만족시킬 수 없다.

·지금까지 대형 캐리어는 X축 방향에서 충분한 측정 스트로크를 제공했지만 Y축의 스트로크는 여전히 작습니다.측정 과정에서 시료를 회전시켜 X축 커버리지보다 짧은 Y축 여정을 보상해야 하는데, 이런 방법은 시간이 많이 걸리고 효율이 높지 않다.

·측정 가능한 범위가 좁기 때문에 수량이 많은 샘플을적재대한 번에 동시에 측정할 수 있습니다.

STM7은솔루션

·총 4가지 *의 정사각형 측정 스트로크가 있는 캐리어 선택 가능 (50mm x 50mm, 100mm x 100 mm,200 mm x 200 mm,및 300mm x 300mm).큰 견본이든 작은 견본이든 항상 당신이 측정하고자 하는 견본에 적합한 적재대가 있을 것입니다.

·클러치 시스템을 채택하면 굵은 조정과 미세 조정 사이에서 빠른 전환을 실현할 수 있다.이러한 전환 기능을 갖추면 운반대도 X축과 Y축 방향을 따라 빠르게 이동할 수 있으며 XY 평면을 자유롭게 오갈 수 있다.

·300mm 길이의 사각형 탑재대는 X축과 Y축 방향에서 같은 측정 여정을 제공할 수 있는데, 이는 300mm의 웨이퍼와 인쇄회로기판과 같은 대형 샘플의 모든 측정을 샘플을 회전하지 않고 실현할 수 있다는 것을 의미한다.


STM7-CS50 (50mm x 50mm) STM7-CS100 (100mm x 100mm)




STM7-CS200 (200 mm x 200 mm) STM7-CS300 (300 mm x 300 mm)

동일한 현미경을 사용하여 낮은 배율과 높은 배율 관찰

자주 묻는 질문

·대부분의 전통적인 측정 현미경은 물경이나 금상만 측정할 수 있다물경, 여러 관찰 요구 사항을 동시에 충족할 수 없습니다.

STM7은솔루션

·STM7은 측정 물경 어댑터를 설치하여 측정 물경을 사용할 수 있으며, 물경 회전판으로 교체하면 금상 물경을 사용할 수 있다.이는 STM7이 금상광학 시스템과 측정 광학 시스템을 동시에 측정 현미경에 결합한다는 것을 의미한다.이를 통해 STM7 시리즈는 대형 샘플을 측정하든 정교한 샘플을 측정하든 표면 높이 차이가 큰 샘플을 측정하든 사용자가 선택할 수 있는 관찰 방법에 대응하고 협조할 수 있다.

측량물경

측정물경은 매우 긴 작업 거리를 가지고 있기 때문에 표면의 기복이 심한 샘플에 초점을 맞출 때 물경과 샘플 사이의 접촉을 걱정할 필요가 없다.또 물경의 저배율 능력을 측정해 큰 시야를 한 번에 관찰할 수 있다.

얻을 수 있고광학 현미경고배율 및 고해상도 관찰 능력더욱 중요한것은 명장관찰외에 암장, 편광과 미분간섭관찰에도 대응할수 있다는것이다.

금상물경

명장 이미지 암장 이미지

수동 초점 조절과 전동 초점 조절 두 종류의 안경테를 선택할 수 있다

STM7은시리즈는 수동 초점 조절과 전동 초점 조절 두 시리즈를 포함한다

초점 제어는 수동형과 전동형 두 가지 선택 방안을 제공한다.운반대의 크기를 고려하지 않고 견본과 측정 내용에 따라 고객의 요구에 맞는 기종을 선택하십시오.모든 미러에는 Z축 선형 눈금자가 내장되어 있으며 다양한 모델의 STM7은 3축 측정에 해당합니다.

수동 Z축 초점 조절 모델

수동 Z축 초점 조절 모델은 널리 사용되는 초점 조절 손잡이를 조작하여 Z축을 빠르게 위아래로 이동할 수 있는 비용 효율성을 제공합니다.다양한 높이 샘플을 가진 사용자를 쉽게 측정할 수 있습니다.

전기 Z축 초점 조절 모델

전동초점조절장치를 사용하면 조작성을 대폭 제고할수 있으며 초점과 고도측정을 할 때의 조작피로를 줄일수 있다.굵고 미세하게 초점을 맞추는 동축 다이얼은 사용자가 습관적으로 수동과 비슷한 방식으로 조작할 수 있도록 설계되었으며, 동시에 전동기형은 자동 초점 단위를 장착할 수 있다.

획기적인 설계를 갖춘 제어 장치는 현미경 측정의 조작성을 대폭 향상시켰다

자주 묻는 질문

·추가 기능에는 추가 운영 단위가 필요합니다.작업자는 해당 작업 단위를 빠르게 찾을 수 없으므로 측정 효율이 크게 떨어집니다.

·운영 체제와 전원 공급 장치, 컨트롤 박스가 호스트 주위에 분산되어 있어 귀중한 작업 공간을 차지합니다.

STM7은솔루션

기기 조작

올림푸스 측정 현미경 STM7 시리즈의 경우 단일 조작 장치를 사용하면 카운터 재설정, 조명 제어, 초점 조정 및 자동 초점 맞추기 등의 기능을 포함하여 거의 모든 측정 현미경 작업을 수행할 수 있습니다.효율성과 편의성을 향상시키기 위해 장치를 원하는 위치에 배치하고 한 손으로 쉽게 조작할 수 있습니다.

컨트롤 박스

각 유닛의 전원 및 통신이 단일 컨트롤 박스에 통합됩니다.포커스 탐색과 같은 옵션 기능을 추가하더라도 추가 전원 공급 장치를 추가할 필요가 없으며, 이러한 설계는 작업 공간을 크게 줄일 수 있습니다.


수동 Z축 초점 조절 모델: STM7-HS 수동 작동 장치

전기 Z축 초점 조절용 모델: STM7-MCZ 전기 작동 장치

관찰 및 측정 효율을 크게 향상시킨 라이트 관리자

자주 묻는 질문

·전통적인 현미경 측정에 사용되는 아날로그 다이얼 조절 방식은 빛의 강도를 정량적으로 제어할 수 없다.이렇게 하면 측정할 때마다 빛의 강도가 일치하지 않아 측정값도 변경됩니다.

·기존 측정 현미경을 사용할 때 물경을 전환할 때마다 빛의 강도를 조절해야 하기 때문에 작업 흐름이 매우 비효율적입니다.

STM7은솔루션

광원의 밝기를 정량적으로 파악할 수 있는 디지털 디스플레이

STM7의 광 강도는 정량적으로 표시되므로 항상 동일한 조건에서 관찰 및 측정을 구현할 수 있습니다.

렌즈를 전환할 때 수동으로 빛의 강도를 조절할 필요가 없다
광강도 관리자는 인코딩 물경 회전판 구성과 함께 사용할 수 있습니다.인코딩된 물경 회전판은 현재 사용되고 있는 물경을 자동으로 식별하며, 광원 관리자의 사전 설정 값 기능과 결합하여 각 물경에 조명 방식과 광강도를 등록할 수 있다.이렇게 하면 물경을 전환할 때마다 자동으로 빛의 강도를 조절하고 조명 방식을 조절할 수 있다.이전처럼 매번 배율을 전환한 후 수동으로 빛의 강도를 조절하는 조작은 지금 생략할 수 있다.

5x물경광 강도 50 20x 물경광 강도 70 100x 물경광 강도 120

사용이 편리한 장소에 배치할 수 있는 이동식 카운터로 측정 결과와 장비 상태를 언제든지 신속하게 확인할 수 있습니다.

자주 묻는 질문

·조명 상태와 같은 장비 작동 상태와 측정 결과를 확인해야 하는 경우 여러 장치에 표시되기 때문에 작업이 매우 번거롭습니다.

STM7은솔루션

현재 상태를 한눈에 확인할 수 있는 카운터

카운터에는 디바이스 상태 및 설정을 표시하는 표시등이 있어 디바이스의 현재 설정 상태를 간단히 확인할 수 있습니다.X, Y, Z축의 작은 단위는 0.1μm와 1μm 사이를 전환할 수 있으며, 밀리미터, 마이크로미터, 인치, 밀이 사이에서 디스플레이 단위를 전환할 수 있다.

카운터가 거울틀에 설치되다

맞춤형 요구에 맞게 자유롭게 배치할 수 있는 이동식 카운터

분리식 카운터는 거울 프레임에 설치하거나 작업대에 배치하는 경우에도 사용자의 사용 상태와 사용 습관에 따라 선택된 위치에 배치할 수 있습니다.사용자가 서서 측정할 때 카운터를 관찰 위치와 거의 같은 높이의 거울 프레임 쪽에 설치하여 쉽게 결과를 관찰하고 검사할 수 있습니다.사용자가 디지털 카메라를 통해 모니터에서 관찰하고 측정하거나 전기 Z축 초점 조절 모델을 사용할 때 카운터와 조작 장치를 작업대에 올려놓기만 하면 의자에 쉽게 앉아 작업을 할 수 있다.

카운터를 작업대에 배치

자동 포커스 시스템의 반복성

더 빠르고 간단하며 정확한 높이 측정

자주 묻는 질문

·시각 측정을 수행하면 작업자에 따라 높이 측정값이 달라집니다.또한 이 측정 방법은 시간이 많이 걸리고 비효율적입니다.

STM7은솔루션

뛰어난 반복성, 단순성, 매우 정확한 포커스 시스템

올림푸스의 포커스 네비게이션 시스템은 패턴을 시야 범위에 투영하여 조작자가 상하 패턴의 일치 상황을 확인함으로써 반복성이 높은 높이 측정 작업을 수행합니다.일반적인 눈대중으로 높이를 측정할 때 매우 선명해 보이는 이미 * 초점이 맞춰진 이미지라도 미세한 오차가 발생할 수 있다.STM7을 사용하는 초점 탐색 시스템은 마커와 일치하기만 하면 측정할 수 있기 때문에 조작자의 주관성이 측정 결과에 미치는 영향을 줄일 수 있다.

눈높이 측정

초점 탐색 시스템

포커스 아래 포커스 위치 포커스 위

자동 초점의 이점 신속하고 정밀도가 높은 높이 측정

자주 묻는 질문

·시각 측정을 수행하면 높이 측정 결과가 작업자에 따라 달라집니다.

·수동 높이 측정은 작업자가 반복적으로 운반대를 이동하고 다이얼을 사용하여 초점을 맞추는 작업을 수행해야 하므로 시간이 많이 걸리고 비효율적입니다.

·지시선과 같은 작은 물체에 초점을 맞추는 것은 매우 어렵다.

STM7은솔루션

자동 초점 장치: 뛰어난 재현성과 초점 속도

STM7 자동 초점 셀을 사용하면 작업자의 경험에 관계없이 짧은 시간 내에 고도를 정확하게 측정할 수 있습니다.거칠거나 기울어진 샘플 표면이라도 능동 반사, 공초점 방법을 이용하여 모두 안정적인 초점을 맞출 수 있고, 작은 직경의 레이저는 지시선과 같은 미세한 물체에 대한 자동 초점을 보장할 수 있다.

단일 초점 모드

자동 포커스를 수행하면 대략적인 포커스 상태에서 시야 중심으로 전환하는 선명한 포커스가 순식간에 완료됩니다.



추적 모드

특색 있는 추적 모드를 활성화하면 시료 표면의 높낮이에 따라 자동으로 초점이 맞춰져 작업대를 이동하는 경우에도 항상 초점이 맞춰집니다.이를 통해 조작자는 X와 Y 핸들에서 손을 떼지 않고도 관찰을 구현할 수 있어 Z축의 측정 효율이 크게 향상되었다.

관찰 및 측정 범위를 확장하는 부품

인코딩 물안경 돌림판

코딩 물경 회전판을 디지털 카메라와 함께 사용하면 관찰 과정에서 화면에 물경의 확대 배율을 표시할 수 있어 배율을 쉽게 기록할 수 있습니다.배율을 동시에 전환할 때도 소프트웨어에 기록된 교정값과 광강도와 연동하여 설정을 조정할 수 있다.명장물경과 명암장물경 두 가지가 있습니다.

MM6-EMO / 정사각형 단일 안경통

정립 이미지는 단안 렌즈를 사용한다.MM6-OCC10 × (십자선이 있는 안경) 와 함께 사용할 수 있습니다.

STM7-FS/페달 스위치

X와 Y 핸들에서 손을 떼지 않고도 작업자가 측정을 완료할 수 있도록 데이터 전송을 손으로 할 필요가 없습니다.

SZ-LW61/백색 LED 조명 장치

작고 가벼우며 수명이 길고 전력 소비량이 적은 것이 특징입니다.또한 이 높은 가격 대비 LED 조명 유닛도 깜박임과 밝기 변동이 발생하지 않는다.

SZX2-ILR66+SZX-RHS/LED 링 조명 + 수동 제어 장치

SZX-RHS 수동 제어 유닛은 SZX2-ILR66 반사 LED 루프 조명 장치의 4단 독립 조명을 구현하고 높은 색 온도로 선명한 이미지를 제공합니다.13가지 모드에서 선택할 수 있는 조명입니다.

회전 캐리어

미세 조정 다이얼을 사용하면 견본에 대한 평행 정렬을 쉽게 실현할 수 있다.

STM7-RS100용 STM7-CS100 100mm × 100mm 적재대

STM7-RS200: STM7-CS200 200mm × 200mm 캐리어에 사용


STM7-RS300: STM7-CS300 300mm × 300mm 캐리어에 사용

고급 측정을 위해 설계된 시스템

측정 지원 시스템

측정 현미경의 출력을 표시하는 데이터와 이미지는 더 잘 볼수록 더 편리하고 빠르게 사용하고 측정할 수 있습니다.더 높은 정밀도로 복잡한 측정을 실현하는 것이 바로 새로운 올림푸스 개발이다측정 소프트웨어의 원인.이 소프트웨어는 디지털 카메라와 함께 사용할 수도 있습니다.

시료를 배치한 후 측정을 시작할 수 있습니다. 시료를 평행으로 정렬할 필요가 없습니다.

직접 측정

STM7에서 내보낸 좌표 정보를 사용하여 측정합니다.

재호출 측정

측정 또는 계산 후에 얻은 좌표는 이후의 측정에도 사용할 수 있습니다.따라서 동일한 작업을 반복하지 않고 보다 원활하고 효율적인 워크플로우를 수행할 수 있습니다.

가상 점 측정

선과 원형을 그리면 교차점, 중간점, 길이 및 다양한 측정 항목이 생성되고 수집된 샘플 이미지에서 이러한 측정 항목을 참조점으로 유지할 수 있습니다.

측정 정렬

원점과 X축은 모두 시료에 따라 설정할 수 있으므로 시료가 적재대와 정렬되지 않고 평행할 때에도 측정할 수 있습니다.

원래 축 새 축

XZ는평면 측정

전통적인 측정 현미경은 내려다보면서 관찰된 XY 평면의 측정을 위주로 한다.올림푸스는 측면 각도에서 단면 방향을 측정하려는 사용자의 요구에 부응하기 위해 STM7-BSW에 XZ 평면 측정 기능을 내장했다.이전에 구현하기 어려웠던 측정이 이제는 훨씬 쉬워졌습니다. 예를 들어 반구형 물체 수직 단면의 반지름 측정이나 기준선에 비해 구부러진 밑부분이 있는 노치의 깊이 측정 등입니다.

반구형 샘플의 반지름 측정 노치 하단과 참조선 사이의 높이 측정

반복 측정을 기록하려면

매크로 등록

자주 사용하는 정렬과 다른 측정 단계 그룹을 결합하여 단일 매크로 버튼으로 정의할 수 있으므로 현미경을 시작할 때마다 0부터 시작할 필요가 없습니다.

측정 반복

기록된 교과 목록의 지시에 따라 간단하게 적재대를 이동하고 좌표값을 획득하여 쉽게 중복 측정을 하고 모든 작업을 완성할 수 있다.이 기능을 사용하여 동일한 유형의 샘플에 대해 동일한 측정 항목을 반복할 수 있습니다.또한 기록된 교육 목록에 설정 값과 공차가 설정된 경우 측정 값이 사양을 초과하면 자동으로 판정됩니다.

NG 결과 예

측정에 대한 측정 점 탐색 반복

이 기능은 다음 측정 지점으로 이동하는 방향과 거리를 표시할 수 있어 이 부분에서 작업자의 고민을 없앨 수 있습니다.이 기능은 또한 각 이동 전에 다음 측정 지점을 시트에서 확인해야 하는 번거로움을 없애고 측정을 반복할 때 작업자 작업의 속도를 향상시킵니다.

측정 과정에서 주관적인 영향을 제거하는 편리한 기능

자동 에지 체크

이 기능은 샘플의 가장자리를 감지하여 샘플의 좌표를 자동으로 얻고 측정합니다.따라서 작업자는 더 이상 좌표가 필요하지 않으며 작업자의 주관성이 측정에 미치는 영향을 줄입니다.자동 에지 감지의 또 다른 특징은 정해진 시간이 되면 자동으로 좌표를 획득하는 타이밍 기능을 갖추고 있다는 것이다.타이밍 기능과 페달 스위치 기능으로 조작자는 캐리어 손잡이에서 손을 떼지 않고도 측정에 집중할 수 있다.

원형 내의 자동 테두리 체크 다중 점 자동 테두리 체크

특이점 제거

가장자리 검출 과정에서 금속 가시 등 특이점을 자동으로 제거할 수 있다.이렇게 하면 시료의 상태와 상관없이 일관된 측정값 계산 결과가 나온다.또한 제외된 특이점을 다른 색상으로 화면에 표시할 수도 있습니다.

특이점이 있는 샘플 특이점 제거 기능

조명 제어

현미경 조명의 빛의 강도도 소프트웨어를 통해 정확하게 제어할 수 있다.또한 반복 측정에 대한 교육 목록을 등록할 때 빛의 강도 설정을 저장할 수 있으므로 반복 측정 또는 자동 에지 측정 중에 동일한 조명 조건에서 측정을 구현할 수 있습니다.

자동 배율 인식 (옵션, 인코딩 물안경 룰렛 구성에만 해당)

인코딩 렌즈 휠을 사용하여 렌즈를 전환할 때 이전에 설정한 교정 값을 자동으로 호출할 수 있습니다.이렇게 하면 항상 모니터에 적절한 눈금자를 표시할 수 있습니다.

사용자 정의 보고서 생성

클릭 한 번으로 보고서 생성

측정 결과는 클릭 한 번으로 Excel 형식으로 내보낼 수 있으므로 데이터를 기록하는 동안 오류가 발생할 가능성을 방지합니다.이미지를 측정 결과와 함께 붙여넣을 수도 있으므로 보고서를 보다 효율적으로 생성할 수 있습니다.

옵션 기능: 다중 그림 결합(MIA) 기능

여러 이미지를 결합하면 배율이 높은 광역 이미지를 얻을 수 있습니다.이미지는 좌표 데이터를 기반으로 결합되므로 신뢰도가 높은 이미지를 생성할 수 있습니다.

옵션 기능: 깊이 확장(EFI) 기능

고르지 않고 복잡한 표면 형태를 가진 샘플의 경우 EFI 기능은 전체 높이 범위에서 좋은 초점을 가진 이미지를 효과적으로 얻을 수 있습니다.EFI 기능을 사용할 때 Z축을 이동하여 여러 개의 서로 다른 초점 위치의 이미지를 얻은 다음 이미지 처리를 하면 전체 초점 이미지가 됩니다.전동 Z축 모듈을 사용하면 원클릭 자동 이미지 합성을 실현할 수 있다.