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차세대 산업용 유량 센서 칩과 우수한 가스 회로 구조의결합
디지털 품질 유량 컨트롤러: 회사가 자체 개발한 공업급 우량 유량 센서 칩을 채용하여 저압 손실 가스 회로 구조 및 고정밀 디지털 제어 회로와 알고리즘을 결합하여 광온 범위 내의 고정밀도, 고안정성, 광량 거리 비율 제어를 실현한다.이 제품은 현장 디버깅 스크린 및 독립 전력 공급 인터페이스를 갖추고 있으며 반도체, 진공 도금, 태양광 및 기타 각종 응용 환경에 적합하다.

과학자 토마스가 제기한"기체의 흡열량 또는 방열량은 기체의 질량류량과 정비례한다."는 리론에 근거하여 발전되였다.기류가 없을 때는 Heater를 중심으로 온도장이 대칭적으로 분포한다.기류가 있을 때 온도장 분포가 오프셋되어 상하류에 온도차가 발생하는데, 이 온도차를 측정하면 칩 표면을 흐르는 가스 질량 유량을 추산할 수 있다.

청도 심생 MFC-S500 시리즈 가스 품질 유량 컨트롤러, *의 기체 유도 설계를 가지고 있으며, 유연한 분류비 배치를 실현할 수 있으며, 측정 거리는 1sccm~120slm를 커버하고, 최소 제어 정밀도는 0.1sccm이며, 0~50 ℃ 온도 범위 표류량은 0.4~0.6% 에 불과하다.전기신호 방면에서는 다양한 디지털 및 아날로그 제어 방식을 제공하고 공업급 디스플레이를 장착하여 고객이 현장에서 쉽게 디버깅하고 배치할 수 있도록 한다.
