공급 가스 품질 유량 컨트롤러 s-300 생산

소개

고성능MFC는, 반도체 업계를 위해 구축

S300은시리즈 디지털 품질 트래픽 컨트롤러/유량계: 회사가 자주적으로 연구개발한 공업급 우량 유량 센서를 채용하고, 정밀 포광 가스 회로 구조 및 고정밀 디지털 제어 회로와 알고리즘을 결합하여 고정밀도, 낮은 표류, 높은 중복성 제어를 실현한다.이 제품은 현장 디스플레이와 주소 코딩 스위치를 갖추고 있으며, 다양한 통신 방식을 선택할 수 있고, 전체 금속 밀봉을 사용자 정의할 수 있으며, 반도체, 진공 도금, 태양광 및 기타 각종 응용 환경에 적합하다.

주요 이점

S1은풍부한 물리적 기능 모듈

상단에는 다음과 같은 다양한 기능 모듈이 있습니다.

* RJ45는디지털 통신 인터페이스(사용자 정의 가능

EtherCAT는또는RS485는협약)

* 주소 인코딩 스위치

* 라이브 디스플레이

* 상태 표시등

또한 측면 구성은 다음과 같습니다.M8은항공 전력 공급 인터페이스는 직관적이고 조작이 간단하여 사용자가 현장 유량 모니터링과 제어를 편리하게 한다.

S2는빠른 응답

1.5ms의센서 응답 시간,0.1~0.5s계기 시스템 응답 시간으로 미세한 유량 변화를 적시에 포착합니다.

S3는고정밀도

2.0%-퍼센트F.S.전체 스레드 세그먼트는 고정밀도를 유지합니다.

0.3%F.S.≤30%F.S.)；1.0%S.P.＞30%F.S.)

S4는전용 상위기를 갖추다

강력한지능형 프로세스상위기 소프트웨어는 여러 대의 연동을 지원하여 모니터링과 설비 배치를 편리하게 한다.

S5는인증 제품

통과TüV는국제기구CE 및 EMC인증 또는JLY는1급 교정 증서 등, 여러 가지 부합SEMI는표준.

제품 사양

* 달리 명시되지 않는 한, 본 제품은 질소, 온도 등25℃、2.5 바차압(공기 흡입구3.5 바절압 대 배출구1바

절압), 수평 배치 설치.

* 적절한 크기의 직선 파이프 세그먼트를 엔트리 포트에 설치하는 것이 좋습니다. 그렇지 않으면 정밀도에 오류가 발생할 수 있습니다.

* 추가 압손을 방지하기 위해 엔트리 포트와 출구 포트에 가능한 한 큰 커넥터를 일치시키는 것이 좋습니다.

1 표시된 측정 거리는 질소 선택적 측정입니다.

2 %F.S.오차가 만량정의 백분율을 차지하는 것을 가리킨다.

3 %S.P.오차가 설정값의 백분율을 차지하는 것을 가리킨다.

4 응답 시간은 설정값 ± 에 도달했음을 나타냅니다.2%안에 필요한 시간.

5 작업 압력은 흡기구와 배출구를 가리킨다(1바)절압)사이의 차압, 더 자세한 내용은 저희에게 연락 주세요.

크기 및 통신